英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子泵STP301、STP603 ISO100 入口 KF25 出口

概述

Edwards STP301 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)的性能，大的制程靈活性。STP301 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認(rèn)可。
 
此 STP 泵在供貨時(shí)帶有入口篩網(wǎng)。
  
如需完整安裝，請(qǐng)訂購(gòu)一臺(tái) STP 泵、一個(gè)控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP301 STP603
 

應(yīng)用

• 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
• MBE
• 擴(kuò)散
• 光致抗蝕劑脫模
• 晶體/晶膜生長(zhǎng)
• 晶片檢查
• 負(fù)載鎖真空腔
• 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
• 高能物理：射束線、加速器
• 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋英國(guó)愛(ài)德華渦輪分子真空泵STP301 STP603

  功能和優(yōu)勢(shì)

  良好的轉(zhuǎn)子技術(shù)  

• 大的制程靈活性

• 無(wú)油

• 低振動(dòng)

• 高度可靠

• 免維護(hù)

• 良好的控制器設(shè)計(jì)  

• 自動(dòng)調(diào)整

• 自行診斷功能

• 直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)

• 無(wú)電池運(yùn)行

• 緊湊型設(shè)計(jì)  

• 占地面積小

• 半機(jī)架控制器

  技術(shù)データ

  入口法蘭	ISO100，CF100
  出口	KF25
  抽速
  N2	300 ls-1
  H2	300 ls-1
  壓縮比
  N2	>108
  H2	>2 x 104
  加熱時(shí)的極限壓力（VG/ISO 法蘭）	6.5 x 10-6 Pa (5 x 10-8 Torr)
  加熱時(shí)的極限壓力（ICF 法蘭）	10-8 Pa (10-10 Torr)
  大允許進(jìn)氣口壓力（環(huán)境空氣冷卻）	0.066 Pa (5 x 10-4 Torr)
  大連續(xù)出口壓力（環(huán)境空氣冷卻）	13 Pa (0.1 Torr)
  額定速度	48000 rpm
  啟動(dòng)時(shí)間	3 min
  高入口法蘭溫度	120 °C
  輸入電壓	100 至 120 (± 10%) V 交流或
  	200 至 240 (± 10%) V 交流
  啟動(dòng)時(shí)的功耗	0.55 kVA
  泵重量	11 kg
  控制器重量	7 kg

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一、進(jìn)口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛(ài)德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂(lè))：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛(ài)發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進(jìn)口真空泵配件銷(xiāo)售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過(guò)濾器、轉(zhuǎn)子、軸、隔板、密封圈、定位銷(xiāo)、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛(ài)德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂(lè))、ULVAC(愛(ài)發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進(jìn)口真空油銷(xiāo)售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。