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產品名稱: 日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U20P維修
產品時間: 2023-11-21
產品型號: CRYO-U20H CRYO-U20P
產品特點: 日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U20P維修適用于大型成膜裝置以及批量式大型成膜裝置等大型生產裝置。

日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U20P維修 的詳細介紹

設備介紹

標準低溫泵 [20型]
CRYO-U20P


日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U20P維修特點

適用于大型成膜裝置以及批量式大型成膜裝置等大型生產裝置。

外形尺寸 (單位:mm)

    日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U20P維修標準規(guī)格

    排氣速度(20℃)

    氮氣

    L/s

    10,000

    氫氣

    18,000

    氬氣

    8,400

    29,000

    到達壓力

    Pa(Torr)

    10-7(10-9)

    大流量

    氬氣

    Pa?L/s(Torr?L/s)

    1.1×103(8.7)

    氫氣

    5.0×102(3.7)

    排氣容量

    氬氣

    Pa?L(Torr?L)

    5.8×108(4.4×106)

    氫氣

    4.6×106(3.4×104)

    冷卻降下時間
    (電力循環(huán))

    min(Hz)

    180/160(50/60)

    吸氣口法蘭

    UVG-500

    壓縮機裝置

    C30VR

    質量

    Kg

    69.0

    *維護間隔:16,000小時

    標準低溫泵 [20型]
    CRYO-U20H


      標準規(guī)格


      排氣速度(20℃)

      氮氣

      L/s

      10,000

      氫氣

      18,000

      氬氣

      8,400

      29,000

      到達壓力

      Pa(Torr)

      10-7(10-9)

      大流量

      氬氣

      Pa?L/s(Torr?L/s)

      1.7×103(12.8)

      氫氣

      5.0×102(3.7)

      排氣容量

      氬氣

      Pa?L(Torr?L)

      5.8×108(4.4×106)

      氫氣

      4.6×106(3.4×104)

      冷卻下降時間
      (電力循環(huán))

      min(Hz)

      160/140(50/60)

      吸氣口法蘭

      UVG-500,20BANSI,ISO-500

      壓縮機裝置

      C30PVRT

      質量

      Kg

      72.0

      *維護間隔:16,000小時

      蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江
      日本愛發(fā)科標準低溫真空泵、低溫泵CRYO-U20P維修、低溫真空泵CRYO-U20H維修

      常州揚州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安
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      如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州
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      紹興金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海
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      廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶
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      荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林
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      濟南青島威海德州連云港昆明九江安慶
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